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标题
Chemical Mechanical Polishing of Molybdenum in Potassium Iodate-Based Acidic Slurries
相关领域
碘酸钾 化学机械平面化 钝化 泥浆 材料科学 抛光 蚀刻(微加工) 无机化学 冶金 化学 复合材料 图层(电子)
网址
DOI
10.1149/2.0061806jss doi
其它 期刊:ECS Journal of Solid State Science and Technology
作者:Peng He; Shuai Shao; Xin-Ping Qu
出版日期:2018-01-01
求助人
sentimental 在 2025-11-16 19:41:10 发布自福建,悬赏 10 积分
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