Comparison Study for TiN Films Deposited from Different Method: Chemical Vapor Deposition and Atomic Layer Deposition

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标题	Comparison Study for TiN Films Deposited from Different Method: Chemical Vapor Deposition and Atomic Layer Deposition
网址	http://dx.doi.org/10.1557/proc-671-o7.8
DOI	10.1557/proc-671-o7.8 doi
其它	期刊：MRS Proceedings 作者：Byoung-Youp Kim; Seung-Hyun Lee; Sang-Gee Park; Ki-Young Oh; Juho Song; et al 出版日期：2001-01-01
求助人	Roy 在 2026-09-24 20:00:38 发布自福建，悬赏 10 积分
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