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标题
Influence of film structure and composition on diffusion barrier performance of SiOx thin films deposited by PECVD
网址
https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S025789720...
DOI
10.1016/j.surfcoat.2005.03.044 doi
其它 期刊：Surface & Coatings Technology
作者：A. Grüniger; A. Bieder; A. Sonnenfeld; P. V. von Rohr; U. Müller; et al
出版日期：2006-04-10
求助人
王佳豪 在 2026-10-18 20:09:00 发布自浙江，悬赏 10 积分
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  • 1天前

    科研通AI6.4 科研通AI6.4 机器人Lv12 上传了文件

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  • 1天前

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  • 1天前

    王佳豪 王佳豪 Lv7 求助人 发起了本次求助

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