| 标题 |
Vapor-phase infiltration (VPI) / sequential infiltration synthesis (SIS) for advanced patterning applications |
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| DOI |
10.1117/12.3010072
doi
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| 其它 |
期刊:Novel Patterning Technologies 2024 作者:Chang-Yong Nam 出版日期:2024-04-10 |
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(2025-6-4)