Quantitative characterization of absorber and phase defects on EUV reticles using coherent diffraction imaging

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标题	Quantitative characterization of absorber and phase defects on EUV reticles using coherent diffraction imaging
网址	https://doi.org/10.1117/1.JMM.19.1.014002
DOI	10.1117/1.JMM.19.1.014002 doi
其它	期刊：Journal of Micro-nanolithography Mems and Moems 作者：Iacopo Mochi; Sara Fernández; Ricarda Nebling; Uldis Locāns; Rajeev Rajendran; et al 出版日期：2020-01-30
求助人	徐堂翔在 2026-10-03 20:15:02 发布自上海，悬赏 20 积分
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