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Measurements of net electron and reaction range in PMMA: an organometallic resists, and a chemically amplified resist for EUV lithography
网址
https://doi.org/10.1117/12.3090914
DOI
10.1117/12.3090914 doi
其它 期刊：Advances in Patterning Materials and Processes XLIII
作者：Emma Penny; Stephen Smith; Ilhan Eser; Mani Veeravalli; Robert L. Brainard; et al
出版日期：2026-02-21
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皮三问 在 2026-09-28 12:54:25 发布自上海，悬赏 20 积分
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    皮三问 皮三问 Lv72 求助人 发起了本次求助

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