Numerical and experimental investigation of effect of oxygen concentration on grown-in defects in a Czochralski silicon single crystal

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标题	Numerical and experimental investigation of effect of oxygen concentration on grown-in defects in a Czochralski silicon single crystal
网址	https://iopscience.iop.org/article/10.35848/1347-4065/acde27
DOI	10.35848/1347-4065/acde27 doi
其它	期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Ryota Suewaka; Toshiaki Saishoji; Shin-ichi Nishizawa 出版日期：2023-06-14
求助人	yy 在 2026-11-06 14:21:41 发布自内蒙古，悬赏 10 积分
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