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 Investigation of heat transfer mechanism affecting temperature homogeneity at polysilicon rods in a Siemens reduction furnace 影响西门子还原炉中硅棒温度均匀性的热传递机制研究
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期刊：Journal of Crystal Growth 作者：Wei Si; Ning Wang; Yuan Zong; Gance Dai; Ling Zhao; et al 出版日期：2024-06-01 |
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