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 Experimental and numerical investigations of the characteristics of electron density in O2/Ar pulsed planar-coil-driven inductively coupled plasmas O2/Ar脉冲平面线圈驱动电感耦合等离子体中电子密度特性的实验和数值研究
相关领域
原子物理学
电子
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物理
电离
等离子体
温度电子
离子
量子力学
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期刊：Physics of plasmas 作者：Wei Liu; Xiaokun Wang; Sha-Sha Song; Yong-Xin Liu; Fei Gao; et al 出版日期：2021-05-01 |
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