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 Alkali Wet Chemicals for Ru with Advanced Semiconductor Technology Nodes 具有先进半导体技术节点的Ru碱性湿化学品
相关领域
蚀刻（微加工）
钌
材料科学
碱金属
半导体
制作
反应离子刻蚀
电介质
纳米技术
沉积（地质）
干法蚀刻
选择性
光电子学
化学工程
化学
催化作用
工程类
有机化学
替代医学
图层（电子）
古生物学
病理
生物
医学
沉积物
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| DOI | |
| 其它 |
期刊：Solid State Phenomena 作者：Yuki Kikkawa; Yuzan Suzuki; Kohei Saito; Hiroto Yarimizu; Satoko Kanamori; et al 出版日期：2023-08-14 |
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