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 Low temperature selective epitaxial growth of SiGe layers using various dielectric mask patterns and process conditions 相关领域
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期刊：Applied Surface Science 作者：A-Ram Choi; Sang-Sik Choi; Jin‐Tae Kim; Deok-Ho Cho; T.-H. Han; et al 出版日期：2008-03-31 |
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