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Low temperature selective epitaxial growth of SiGe layers using various dielectric mask patterns and process conditions

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作者
A-Ram Choi,Sang-Sik Choi,Jin‐Tae Kim,Deok-Ho Cho,T.-H. Han,Kyu-Hwan Shim
出处
期刊：Applied Surface Science [Elsevier BV]
日期：2008-03-31 卷期号：254 (19): 6081-6085 被引量：3
标识
DOI：10.1016/j.apsusc.2008.02.195
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