Analysis of extreme ultraviolet mask defect inspection based on complex amplitudes of the aerial images

已完结

文献求助详情

标题	Analysis of extreme ultraviolet mask defect inspection based on complex amplitudes of the aerial images
网址	https://doi.org/10.1117/12.3007756
DOI	10.1117/12.3007756 doi
其它	期刊：Fourteenth International Conference on Information Optics and Photonics (CIOP 2023) 作者：Longqaio Zhang; Sikun Li; Hang Zheng; Shuai Yuan; Xiangzhao Wang; Yue Yang 出版日期：2023
求助人	Amara 在 2026-03-23 16:29:38 发布自吉林，悬赏 20 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。

Society for Industrial and Applied Mathematics (SIAM)

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

科研通，让科研之路畅通无阻

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 濯枝雨完成签到，获得积分10

15秒前; 大医仁心完成签到，获得积分10

15秒前; 科目三的应助被科研通管家采纳，获得10

16秒前; 渡人舟的应助被科研通管家采纳，获得10

16秒前; 科研通AI6.4上传了应助文件

23秒前; SciGPT上传了应助文件

25秒前; 无限寒珊完成签到，获得积分10

29秒前; 张张完成签到，获得积分10

29秒前; 鱼皮豆发布了新的文献求助10

29秒前; blenx发布了新的文献求助10

29秒前; molihuakai的应助被鱼皮豆采纳，获得10

37秒前; 平淡的友儿完成签到，获得积分10

39秒前; 科研通AI6.2的应助被研友_惊鸿采纳，获得10

42秒前; 科研通AI6.2上传了应助文件

50秒前; 研友_惊鸿发布了新的文献求助10

1分钟前; 清脆雅柔完成签到，获得积分10

1分钟前; 帅气的魔镜完成签到，获得积分10

1分钟前; Criminology34的应助被科研通管家采纳，获得20

2分钟前; aajhajkahna的应助被科研通管家采纳，获得10

2分钟前; aajhajkahna的应助被科研通管家采纳，获得10

2分钟前; 辛勤尔珍完成签到，获得积分10

2分钟前; 爱撒娇的芷巧完成签到，获得积分10

2分钟前; 科研通AI6.2的应助被YYY采纳，获得10

3分钟前; 贪玩千儿完成签到，获得积分10

3分钟前; 美丽妙彤完成签到，获得积分10

4分钟前; 刻苦寻双完成签到，获得积分10

4分钟前; 英勇问晴完成签到，获得积分10

4分钟前; 科研通AI6.2上传了应助文件

5分钟前; heng关闭了heng的文献求助

5分钟前; YYY发布了新的文献求助10

5分钟前; YYY完成签到，获得积分10

5分钟前; Orange的应助被又声采纳，获得10

5分钟前; 多情的涔完成签到，获得积分10

6分钟前; 渡人舟的应助被科研通管家采纳，获得10

6分钟前; Criminology34的应助被科研通管家采纳，获得30

6分钟前; 饱满飞绿完成签到，获得积分10

6分钟前; 单纯的天抒完成签到，获得积分10

6分钟前; 怡然的凌兰发布了新的文献求助10

6分钟前; 精明悟空完成签到，获得积分10

6分钟前; 细腻梦凡完成签到，获得积分10

6分钟前