Characterization of vapor draw vessel performance for low-volatility solid precursor delivery

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标题	Characterization of vapor draw vessel performance for low-volatility solid precursor delivery
网址	https://pubs.aip.org/avs/jva/article-pdf/doi/10.1116/6.00006...
DOI	10.1116/6.0000676 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films 作者：James E. Maslar; William A. Kimes; Brent A. Sperling; Ravindra K. Kanjolia 出版日期：2020-12-10
求助人	sygtl 在 2026-03-23 23:53:52 发布自广东，悬赏 10 积分
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