5.1 Å EOT and low leakage TiN/Al2O3/Hf0.5Zr0.5O2/Al2O3/TiN heterostructure for DRAM capacitor

已完结

文献求助详情

标题	5.1 Å EOT and low leakage TiN/Al2O3/Hf0.5Zr0.5O2/Al2O3/TiN heterostructure for DRAM capacitor
网址	https://doi.org/10.1063/5.0145824
DOI	10.1063/5.0145824 doi
其它	期刊：Applied Physics Letters 作者：Zhen Luo; Xinzhe Du; Hui Gan; Yue Lin; Wensheng Yan; et al 出版日期：2023
求助人	photogragher 在 2026-06-04 11:29:36 发布自福建，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。

Society for Industrial and Applied Mathematics (SIAM)

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

有了科研通，下载文献真轻松！

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: Cookies完成签到，获得积分10

2秒前; 迅速飞丹完成签到，获得积分10

6秒前; 完美世界上传了应助文件

14秒前; 西吴完成签到，获得积分0

15秒前; xusfdudbgxg完成签到，获得积分10

17秒前; 踏实的赛凤发布了新的文献求助10

21秒前; bkagyin上传了应助文件

29秒前; SciGPT的应助被陈呵呵采纳，获得10

30秒前; yu发布了新的文献求助10

35秒前; FashionBoy上传了应助文件

39秒前; loii发布了新的文献求助200

44秒前; L过过过发布了新的文献求助10

44秒前; 无辜的凝安完成签到，获得积分10

48秒前; 害羞孤风完成签到，获得积分10

50秒前; 脑洞疼的应助被科研通管家采纳，获得10

53秒前; 爆米花的应助被科研通管家采纳，获得10

53秒前; Kao的应助被科研通管家采纳，获得10

53秒前; Kao的应助被科研通管家采纳，获得10

53秒前; SciGPT的应助被科研通管家采纳，获得10

53秒前; Kao的应助被科研通管家采纳，获得10

54秒前; 爆米花的应助被科研通管家采纳，获得10

54秒前; 愉快初曼完成签到，获得积分10

1分钟前; SciGPT上传了应助文件

1分钟前; 陈呵呵发布了新的文献求助10

1分钟前; 古木完成签到，获得积分10

1分钟前; 上官若男上传了应助文件

1分钟前; Darcy发布了新的文献求助10

1分钟前; ice.sweet完成签到，获得积分10

1分钟前; 科研通AI6.4上传了应助文件

1分钟前; 科目三的应助被Darcy采纳，获得10

1分钟前; 隐形骁完成签到，获得积分10

1分钟前; xl发布了新的文献求助10

1分钟前; 深情安青上传了应助文件

1分钟前; yuchi0730完成签到，获得积分10

1分钟前; rlc发布了新的文献求助10

1分钟前; 复杂亦瑶完成签到，获得积分10

1分钟前; 领导范儿上传了应助文件

1分钟前; 科研通AI6.2的应助被含蓄的楼房采纳，获得10

1分钟前; yzq发布了新的文献求助10

2分钟前; jin666发布了新的文献求助10

2分钟前