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 Performance of aluminum nitride-based piezoelectric micromachined ultrasonic transducers under different readout configurations 相关领域
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期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering 作者：Lei Shi; Licheng Jia; Chongbin Liu; Hongbin Yu; Chengliang Sun; et al 出版日期：2021-11-05 |
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