Compressive stress reduction in sputter-deposited yttrium aluminum nitride (Y0.2Al0.8N) thin films for BAW resonators with high electromechanical coupling - 科研通

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标题	Compressive stress reduction in sputter-deposited yttrium aluminum nitride (Y0.2Al0.8N) thin films for BAW resonators with high electromechanical coupling
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S092442472...
DOI	10.1016/j.sna.2024.115638 doi
其它	期刊：Sensors and Actuators A: Physical 作者：Shardul Pandit; Michael Schneider; Claudio Berger; Ulrich Schmid 出版日期：2024-07-06
求助人	Tree 在 2026-09-06 00:05:44 发布自江苏，悬赏 10 积分
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