Synergistic Optimization of Plasma Uniformity and Active Species Density in MPCVD Systems: A Study Based on Multiphysics Simulation and Response Surface Methodology

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标题	Synergistic Optimization of Plasma Uniformity and Active Species Density in MPCVD Systems: A Study Based on Multiphysics Simulation and Response Surface Methodology
网址	https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2026.115568
DOI	10.1016/j.vacuum.2026.115568 doi
其它	期刊：Vacuum 作者：Gang Yuan; Junkui Zhu; Sen Ming; G. Peng; Huanwei Duan; et al 出版日期：2026-06-01
求助人	sc 在 2026-06-29 15:42:06 发布自四川，悬赏 10 积分
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