发布文献求助
已完结
  • 文献求助详情
标题
Formation of a SiOF reaction intermixing layer on SiO2 etching using C4F6/O2/Ar plasmas
网址
http://dx.doi.org/10.1116/1.4949570
DOI
10.1116/1.4949570 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films
作者：Yoshinobu Ohya; Maju Tomura; Kenji Ishikawa; Makoto Sekine; Masaru Hori
出版日期：2016-05-17
求助人
cyyan 在 2026-07-22 10:32:29 发布自上海，悬赏 10 积分
下载 求助已完成，仅限求助人下载。
上个求助
下个求助
提交工单
该求助已完结，感谢关注
如需该文献，请重新发布求助，前往发布
科研通，让科研之路畅通无阻
请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
SciGPT的应助被科研通管家采纳，获得10
刚刚
FashionBoy的应助被科研通管家采纳，获得10
刚刚
刚刚
思源的应助被科研通管家采纳，获得10
刚刚
努力学好的应助被科研通管家采纳，获得10
刚刚
刚刚
我是老大的应助被科研通管家采纳，获得10
1秒前
1秒前
领导范儿的应助被科研通管家采纳，获得10
1秒前
CodeCraft的应助被ale采纳，获得10
1秒前
Hello的应助被科研通管家采纳，获得10
1秒前
彭于晏的应助被科研通管家采纳，获得10
1秒前
思源的应助被科研通管家采纳，获得10
1秒前
JIAYU发布了新的文献求助10
1秒前
2秒前
秉烛游发布了新的文献求助10
2秒前
科目三的应助被吕吕吕采纳，获得30
2秒前
molihuakai的应助被1021采纳，获得10
2秒前
2秒前
3秒前
luibia发布了新的文献求助10
3秒前
风止完成签到，获得积分10
3秒前
ouen完成签到，获得积分10
4秒前
4秒前
xuluo发布了新的文献求助10
5秒前
5秒前
5秒前
5秒前
元汐发布了新的文献求助10
5秒前
_执发布了新的文献求助10
6秒前
张甜甜完成签到，获得积分20
6秒前
6秒前
Owen的应助被冷静白亦采纳，获得10
6秒前
6秒前
7秒前
7秒前
顾安完成签到 ，获得积分10
7秒前
CipherSage的应助被jasmineyy采纳，获得10
7秒前
乐乐的应助被幽默的初雪采纳，获得10
8秒前
orixero的应助被熊二浪采纳，获得10
8秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
2026年中国辛酸癸酸聚乙二醇甘油酯行业市场现状调查及投资机会研判报告 1000
2026年中国辛酸癸酸聚乙二醇甘油酯行业市场规模及竞争格局分析报告 1000
模型平均及其应用 900
Nondestructive Testing Handbook: Vol. 4, Thermal and Infrared Testing (IR), 4th ed 800
Évora na Idade Média 555
作者名：Kristopher P. Plain，悉尼大学的，目前只能查到其四篇论文，想找到其博士论文 550
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 纳米技术 工程类 有机化学 化学工程 生物化学 计算机科学 内科学 物理 复合材料 催化作用 细胞生物学 无机化学 光电子学 物理化学 电极 基因
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 7343329
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 8955817
关于积分的说明 19014568
捐赠科研通 6995338
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 3219430
关于科研通互助平台的介绍 2384605
邀请新用户注册赠送积分活动 2199584
Copyright © 2020-2026 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：821889395【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通