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标题
A MEMS Capacitive Pressure Sensor with SiMiT Diaphragm and Notched Junction Isolation
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DOI
10.1109/tim.2026.3712899 doi
其它 期刊:IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement
作者:Anxin Luo; Yu Wang; Riliang Li; Yushen Hu; Yang Yang; et al
出版日期:2026-07-14
求助人
xiaofeiy 在 2026-07-14 12:37:54 发布自广东,悬赏 10 积分
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