Monolithic 3D integration of atomic-layer-deposited oxide semiconductors on 200-mm silicon wafers

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标题	Monolithic 3D integration of atomic-layer-deposited oxide semiconductors on 200-mm silicon wafers
网址	http://dx.doi.org/10.1038/s41565-026-02276-0
DOI	10.1038/s41565-026-02276-0 doi
其它	期刊：Nature Nanotechnology 作者：Chang Niu; Linjia Long; Luqi Zheng; Shuting Du; Jian-Yu Lin; et al 出版日期：2026-09-15
求助人	椰默在 2026-09-15 20:39:28 发布自湖北，悬赏 20 积分
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