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 Development and performance evaluation of a multi-mode piezoelectric motion platform for high-precision optical measurements 相关领域
压电
计量学
微电子
压电马达
运动系统
工程类
声学
电子工程
半导体器件制造
运动控制
干涉测量
模式（计算机接口）
计量系统
计算机科学
测距
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超声波电动机
定子
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过程（计算）
半导体
微系统
伺服电动机
精密工程
电子元件
尺寸计量学
噪音（视频）
微电子机械系统
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期刊：Precision Engineering 作者：Fan Fang; Lusheng Yuan; Liang Wang; Xuyang Si; Rui Wang; et al 出版日期：2025-10-01 |
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