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Development and performance evaluation of a multi-mode piezoelectric motion platform for high-precision optical measurements

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作者

Fan Fang,Lusheng Yuan,Liang Wang,Xuyang Si,Rui Wang,Biao Liu,Yuan Wan

出处

期刊：Precision Engineering-journal of The International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology [Elsevier BV]
日期：2025-08-22 卷期号：96: 984-997 被引量：3

标识

DOI：10.1016/j.precisioneng.2025.08.011

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