The effect of hydrogen ion bombardment on the capping layers of extreme ultraviolet mirrors

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标题	The effect of hydrogen ion bombardment on the capping layers of extreme ultraviolet mirrors
网址	http://dx.doi.org/10.1088/2053-1591/adca00
DOI	10.1088/2053-1591/adca00 doi
其它	期刊：Materials Research Express 作者：Kuan-Wei Lu; Kuan-Yu Ko; Ai-Ling Shih; Duy Thanh Cu; Meng-Chi Li; et al 出版日期：2025-04-01
求助人	光亮的青文在 2026-07-29 10:24:25 发布自浙江，悬赏 10 积分
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