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标题
The effect of hydrogen ion bombardment on the capping layers of extreme ultraviolet mirrors
网址
DOI
10.1088/2053-1591/adca00 doi
其它 期刊:Materials Research Express
作者:Kuan-Wei Lu; Kuan-Yu Ko; Ai-Ling Shih; Duy Thanh Cu; Meng-Chi Li; et al
出版日期:2025-04-01
求助人
光亮的青文 在 2026-07-29 10:24:25 发布自浙江,悬赏 10 积分
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