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标题
Enhancing performance of Ti-Zn-oxo clusters for advanced lithography: effect of vertical ionization potential on sensitivity
用于先进光刻的Ti-Zn-oxo团簇增强性能：垂直电离势对灵敏度的影响
相关领域
平版印刷术 灵敏度（控制系统） 电离 材料科学 纳米技术 光电子学 化学 电子工程 离子 工程类 有机化学
网址
https://doi.org/10.1007/s11426-025-2632-y
DOI
10.1007/s11426-025-2632-y doi
其它 期刊：Science China Chemistry
作者：Daohan Wang; Xiao‐Feng Gong; Runfeng Xu; Min Zhang; Danhong Zhou; et al
出版日期：2025-04-28
求助人
清清 在 2025-05-08 17:28:29 发布自福建，悬赏 10 积分
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