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 Highly localized surface oxide thickening on polycrystalline silicon thin films during cyclic loading in humid environments 多晶硅薄膜在潮湿环境中循环加载过程中的高度局部表面氧化物增厚
相关领域
材料科学
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期刊：Acta Materialia 作者：Michael Budnitzki; Olivier N. Pierron 出版日期：2009-03-31 |
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