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 Surface evolution and effect of V/III ratio modulation on etch-pit-density improvement of thin AlN templates on nano-patterned sapphire substrates by metalorganic chemical vapor deposition 金属有机化学气相沉积纳米图案蓝宝石衬底上薄AlN模板的表面演化和V/III比调制对刻蚀坑密度改善的影响
相关领域
材料科学
蓝宝石
化学气相沉积
结晶度
薄脆饼
金属有机气相外延
外延
位错
光电子学
腐蚀坑密度
聚结（物理）
薄膜
蚀刻（微加工）
复合材料
纳米技术
光学
图层（电子）
激光器
物理
天体生物学
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期刊：Applied Surface Science 作者：Tzu-Yu Wang; Chi-Tsung Tasi; Ku-Yen Lin; Sin-Liang Ou; Ray-Hua Horng; Dong-Sing Wuu 出版日期：2018-06-05 |
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