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Silicon Surface Passivation by ALD-Ga2O3: Thermal vs. Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition
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DOI
10.1109/jphotov.2020.2989201 doi
其它 期刊:IEEE Journal of Photovoltaics
作者:Daniel Hiller; Jaakko Julin; Ahmed Chnani; Steffen Strehle
出版日期:2020-05-08
求助人
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