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 Influence of AlN-Interlayer and Growth Parameters of Mo Electrode on AlN Piezoelectric Thin Films for FBAR 相关领域
材料科学
压电
薄膜
溅射
电极
图层（电子）
外延
复合材料
光电子学
微电子机械系统
衍射
沉积（地质）
谐振器
质量（理念）
溅射沉积
缓冲器（光纤）
电子工程
方向（向量空间）
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期刊： 作者：Shaocheng Wu; Jiazhe Zhang; Yuhang Dou; Rongbin Xu; Daquan Yu 出版日期：2025-05-11 |
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