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标题
Effect of showerhead electrode materials on high aspect ratio etching of SiO2
网址
https://doi.org/10.1016/j.jiec.2025.06.035
DOI
10.1016/j.jiec.2025.06.035 doi
其它 期刊：Journal of Industrial and Engineering Chemistry
作者：Seong Bae Kim; Hyun Woo Tak; Chan Hyuk Choi; Jun Soo Lee; Myeong Ho Park; et al
出版日期：2026
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