Laser thermal anneal of polysilicon channel to boost 3D memory performance

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网址	https://doi.org/10.1109/vlsit.2014.6894346
DOI	10.1109/vlsit.2014.6894346 doi
其它	期刊：作者：J. G. Lisoni; A. Arreghini; G. Congedo; M. Toledano-Luque; I. Toqué‐Tresonne; et al 出版日期：2014-06-01
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