Influence of Annealing Temperature on the Microstructure and Morphology of TiN Films Synthesized by Dual Magnetron Sputtering - 科研通

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标题	Influence of Annealing Temperature on the Microstructure and Morphology of TiN Films Synthesized by Dual Magnetron Sputtering
网址	https://link.springer.com/content/pdf/10.1134/S1063784218080...
DOI	10.1134/s1063784218080236 doi
其它	期刊：Technical Physics 作者：S. V. Zaitsev; V. S. Vashchilin; D. S. Prokhorenkov; M. V. Limarenko; E. I. Evtushenko 出版日期：2018-08-16
求助人	112 在 2026-04-10 17:28:10 发布自北京，悬赏 10 积分
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