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 Fabrication of Slanted Grating Utilizing Reaction Ion Beam Etching: The Role of CHF3 and O2 Etching Atmosphere 相关领域
蚀刻（微加工）
材料科学
分析化学（期刊）
纳米技术
化学
有机化学
图层（电子）
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期刊：2022 IEEE 16th International Conference on Solid-State & Integrated Circuit Technology (ICSICT) 作者：Na Liu; Guojian Ding; Guankong Mo; Jia Shi; Qi Feng; et al 出版日期：2022-10-25 |
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