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Performance Improvements in GAA NSFET Devices and Circuits Using a Hybrid Dual-κ Spacer Strategy at 3 nm Node and Beyond
在3 nm节点及以上使用混合双κ间隔区策略的GAA NSFET器件和电路的性能改进
相关领域
材料科学 节点（物理） 对偶（语法数字） 电子线路 纳米技术 光电子学 电子工程 计算机体系结构 计算机科学 电气工程 工程类 物理 量子力学 文学类 艺术
网址
https://doi.org/10.1149/2162-8777/adbebc
DOI
10.1149/2162-8777/adbebc doi
其它 期刊：ECS Journal of Solid State Science and Technology
作者：Meihe Zhang; Lei Cao; Lianlian Li; qingkun li; Renjie Jiang; et al
出版日期：2025-03-01
求助人
研友_84mPRL 在 2025-12-03 10:10:41 发布自上海，悬赏 10 积分
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