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标题
The design concept and implementation of ultra-precision thinning grinder for SiC wafers
SiC晶片超精密减薄磨床的设计构思与实现
相关领域
粉碎机 稀释 薄脆饼 计算机科学 计算机硬件 嵌入式系统 材料科学 工程制图 机械工程 工程类 纳米技术 研磨 生物 生态学
网址
https://doi.org/10.1016/j.precisioneng.2025.02.011
DOI
10.1016/j.precisioneng.2025.02.011 doi
其它 期刊：Precision Engineering-journal of The International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology
作者：Tianyu Li; Xianglong Zhu; Renke Kang; L.H. Dai; Meng Li
出版日期：2025-02-01
求助人
白石桥的锁匠 在 2025-12-03 18:58:15 发布自内蒙古，悬赏 10 积分
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