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 Improvement of ZnO TCO film growth for photovoltaic devices by reactive plasma deposition (RPD) 反应等离子体沉积(RPD)提高光伏器件ZnO TCO薄膜生长性能
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期刊：Thin Solid Films 作者：K. Iwata; Toshiyuki Sakemi; A. Yamada; Paul Fons; K. Awai; et al 出版日期：2005-01-04 |
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