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Atomic layer deposition of selective SiO2 thin films using silane self-assembled monolayers on silicon versus amorphous carbon
硅与非晶碳上硅烷自组装单层选择性SiO2薄膜的原子层沉积
相关领域
材料科学 硅烷 单层 硅 图层（电子） 原子层沉积 碳纤维 化学工程 薄膜 沉积（地质） 非晶硅 自组装单层膜 纳米技术 无定形碳 无定形固体 碳膜 原子层外延 复合材料 光电子学 有机化学 晶体硅 化学 复合数 古生物学 沉积物 工程类 生物
网址
http://dx.doi.org/10.1016/j.matlet.2025.138749
DOI
10.1016/j.matlet.2025.138749 doi
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CXHY 在 2025-12-16 21:39:38 发布自天津，悬赏 10 积分
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