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Fluorescent nanodiamond scintillators for beam diagnostics of EUV and soft X-ray in photolithographic applications
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极紫外光刻 纳米金刚石 材料科学 平版印刷术 闪烁体 极端紫外线 荧光 纳米技术 光电子学 下一代光刻 电子束光刻 光学 抵抗 物理 激光器 复合材料 钻石 探测器 图层（电子）
网址
https://pubs.rsc.org/en/content/articlepdf/2025/ra/d4ra08013...
DOI
10.1039/d4ra08013k doi
其它 期刊：RSC Advances
作者：Yuen Yung Hui; Chen-Yu Ho; Teng‐I Yang; Tzu-Ping Huang; Bing‐Ming Cheng; et al
出版日期：2025-01-01
求助人
babyuer 在 2026-01-08 19:30:08 发布自山西，悬赏 10 积分
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