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 Complementary spectroscopic and electrochemical analysis of the sealing of micropores in hexamethyldisilazane plasma polymer films by Al 2 O 3 atomic layer deposition 相关领域
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期刊：Surface and Interface Analysis 作者：Xiaofan Xie; David Zanders; Florian Preischel; Teresa de los Arcos; Anjana Devi; et al 出版日期：2023-09-18 |
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