Effect of resist sensitivity ratio on T-gate fabrication

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标题	Effect of resist sensitivity ratio on T-gate fabrication
网址	https://pubs.aip.org/avs/jvb/article-pdf/19/6/2494/10993961/...
DOI	10.1116/1.1420577 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures Processing, Measurement, and Phenomena 作者：Y. Chen; D. S. Macintyre; S. Thoms 出版日期：2002-07-27
求助人	三颗石头在 2026-06-16 18:23:30 发布自湖北，悬赏 10 积分
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