Thermodynamics, kinetics, and technology of synthesis of epitaxial layers of silicon carbide on silicon by coordinated substitution of atoms, and its unique properties. A review

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标题	Thermodynamics, kinetics, and technology of synthesis of epitaxial layers of silicon carbide on silicon by coordinated substitution of atoms, and its unique properties. A review
网址	http://dx.doi.org/10.17308/kcmf.2022.24/10549
DOI	10.17308/kcmf.2022.24/10549 doi
其它	期刊：Конденсированные среды и межфазные границы 作者：S. A. Kukushkin; A. V. Osipov 出版日期：2022-01-01
求助人	车车在 2026-08-20 10:34:23 发布自陕西，悬赏 10 积分
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