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Research on Interface Properties of Thermally Grown SiO2 and ALD SiO2 Stacked Structures
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DOI
10.1149/2162-8777/acd1ae doi
其它 期刊:ECS Journal of Solid State Science and Technology
作者:Shuai Li; Jun Luo; Tianchun Ye
出版日期:2023-05-01
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