Negative-tone chemically-amplified resist development for high resolution hybrid lithography

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标题	Negative-tone chemically-amplified resist development for high resolution hybrid lithography
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0167-9317...
DOI	10.1016/j.mee.2004.02.052 doi
其它	期刊：Microelectronic Engineering 作者：S. Landis; S. Pauliac; R. Hanawa; M. Suetsugu; M. Akita 出版日期：2004-06-01
求助人	Roche 在 2026-07-07 18:22:48 发布自北京，悬赏 10 积分
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