| 标题 |
Detection of crystalline defects in Si/SiGe superlattices towards 3D-DRAM applications |
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| DOI |
10.1117/12.3011279
doi
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| 其它 |
期刊: 作者:Matteo Beggiato; Dorin Cerbu; Roger Loo; Wei Sun; Alain Moussa; et al 出版日期:2024-04-10 |
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(2025-6-4)