发布文献求助
待确认
  • 文献求助详情
系统提示
该文献链接来自semanticscholar，该网站是索引库，类似于搜索引擎，其准确性不能保证。此类网址会大大拖延应助，为了快速获取到文献，请核实文献信息的准确性，建议填写原始官方链接，特殊情况请在备注中说明。管理员会对该类求助适时进行关闭。
提醒：由于doi是数字文件的唯一标识，应助人将优先使用doi进行应助
标题
Improvement of CD stability and defectivity in resist coating and developing process in EUV lithography process
网址
https://www.semanticscholar.org/paper/Improvement-of-CD-stab...
DOI
10.1117/12.2500896 doi
求助人
scscsd 在 2026-08-27 10:47:15 发布自美国，悬赏 20 积分
下载
上个求助
下个求助
提交工单
求助 / 应助时间线

  • 请等待求助人确认

    已经有人上传了文献，该状态下其他人无法上传，请等待求助人确认该文件是否是他需要的。
    如果求助人在 48 小时内还未确认，系统默认应助成功，本求助将自动关闭。

  • 47分钟前

    FashionBoy FashionBoy Lv12 上传了文件

    待审核 1080924.pdf (707.15 KB)
    温馨提示：本文件中的下载单位、IP等隐私信息已被删除。如有遗漏，请 提交工单 反馈。

  • 47分钟前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    10:47:18 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    10:47:16 科研通AI机器人（英国 伦敦）收到请求，开始寻找文献
    10:47:15 已向机器人发送请求

  • 47分钟前

    scscsd scscsd Lv52 求助人 发起了本次求助

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
七米日光完成签到，获得积分10
刚刚
刚刚
晓雯发布了新的文献求助10
刚刚
芒果完成签到，获得积分10
刚刚
柳乐优发布了新的文献求助10
1秒前
丘比特的应助被仲1采纳，获得10
1秒前
JarryChao发布了新的文献求助10
2秒前
2秒前
2秒前
麦克尔发布了新的文献求助10
2秒前
2秒前
3秒前
Hello的应助被天天向上上采纳，获得10
3秒前
4秒前
燕恩欢完成签到，获得积分10
4秒前
4秒前
ccccc发布了新的文献求助10
4秒前
5秒前
5秒前
doudouw的应助被小枣采纳，获得20
5秒前
青禾关注了科研通微信公众号
5秒前
ZR完成签到，获得积分10
5秒前
NexusExplorer的应助被蓬蓬采纳，获得10
5秒前
petrichor完成签到 ，获得积分10
6秒前
6秒前
6秒前
7秒前
阮婷发布了新的文献求助10
7秒前
bkagyin的应助被柳乐优采纳，获得10
7秒前
sunny发布了新的文献求助50
9秒前
飞快的盼易完成签到，获得积分10
9秒前
9秒前
BButters发布了新的文献求助10
9秒前
俏皮的豌豆完成签到，获得积分10
10秒前
10秒前
12秒前
QingyuShang发布了新的文献求助10
12秒前
优秀笑寒发布了新的文献求助10
13秒前
yue完成签到，获得积分10
13秒前
白榆发布了新的文献求助10
13秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
An Introduction to Foreign Language Learning and Teaching 750
The Oxford Handbook of Digital Classical Studies 550
China Pluperfect I: Epistemology of Past and Outside in Chinese Art 520
Matrix Methods in Data Mining and Pattern Recognition Second Edition 510
The fast track to determining transfer functions of linear circuits: The student guide 500
The Analytical and Numerical Solution of Electric and Magnetic Fields 500
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 纳米技术 工程类 有机化学 化学工程 生物化学 计算机科学 内科学 物理 复合材料 催化作用 细胞生物学 无机化学 光电子学 物理化学 电极 基因
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 7621492
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 9196629
关于积分的说明 19713200
捐赠科研通 7193003
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 3272838
关于科研通互助平台的介绍 2435269
邀请新用户注册赠送积分活动 2267967
Copyright © 2020-2026 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 帮助中心 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：821889395【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通