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 Tuning the Magnetic Properties and Sputtering Performance of FeCoB Sputtering Targets Through Composition and Process Control 相关领域
溅射
材料科学
过程（计算）
作文（语言）
光电子学
过程控制
溅射沉积
冶金
化学成分
制造工艺
工作（物理）
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期刊：2026 IEEE International Magnetic Conference - Short Papers (INTERMAG Short Papers) 作者：Q. Zeng; D. Heerden; Doyle Lian; Steve Kennedy 出版日期：2026-04-13 |
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