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Two‐Dimensional Fluid‐Analytical Hybrid Modelling of the Electromagnetic Effects in Very High Frequency Capacitively Coupled Ar/CF 4 Plasmas |
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期刊:Plasma Processes and Polymers 作者:Xin-yang LI; Yu-Ru Zhang; You-Nian Wang 出版日期:2025-11-27 |
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(2025-6-4)