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标题
[高分] Advances in OPC etch modeling
网址
http://dx.doi.org/10.1117/12.2614280
DOI
10.1117/12.2614280 doi
其它 期刊：Advanced Etch Technology and Process Integration for Nanopatterning XI
作者：Germain L. Fenger; Youngchang Kim; Ignat Moskalenko; Johnny Herrera; Alexander Drutsa
出版日期：2022-06-13
求助人
清风 在 2026-07-30 10:34:07 发布自浙江，悬赏 50 积分
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