Performance enhancement of MOCVD grown Zn-doped β-Ga2O3 Deep-Ultraviolet photodetectors on silicon substrates via TiN buffer layers

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标题	Performance enhancement of MOCVD grown Zn-doped β-Ga2O3 Deep-Ultraviolet photodetectors on silicon substrates via TiN buffer layers
网址	https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2024.161509
DOI	10.1016/j.apsusc.2024.161509 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：Anoop Kumar Singh; Jun-Hong Shen; Shi‐Ming Huang; Chao-Chun Yen; Hsin-Yu Chou; et al 出版日期：2024-10-12
求助人	高高的念寒在 2026-07-10 11:28:16 发布自江苏，悬赏 10 积分
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International Society for Optics and Photonics (SPIE)

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