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专利、报告等 Effect of Nucleophiles with Passivating –Oh Group to Suppress Re-Deposition of Si3n4 Etch Byproduct and Promote Sn2-Like Nucleophilic Substitution on Selective Si3n4 Etching
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DOI
10.2139/ssrn.5111277 doi
其它 期刊:
作者:Jongwon Han; Sangwoo Lim
出版日期:2025-01-26
求助人
琪3043 在 2026-09-04 13:55:30 发布自山东,悬赏 10 积分
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